主要功能：

1、固体表面浅层(约1-10nm)元素种类及其化学态的定性和半定量分析；

2、材料深度梯度剖析：材料纵深方向（几十至几百纳米）的元素及其化学态分析；

3、材料小面积XPS、成像XPS及紫外光电子能谱UPS分析

主要应用领域：

合金、矿物、半导体、高分子聚合物，催化剂、陶瓷、生物医药、新能源材料等领域。