基本信息

  • 生产厂商 日本Hitachi
  • 资产编号 3609900-6657-6160
  • 资产负责人 蒋倩倩
  • 购置日期2023-09-22
  • 仪器价格319.80 万元
  • 仪器产地日本
  • 仪器供应商日本Hitachi
  • 购买经办人黄利坚
  • 主要配件 能谱附件： 探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，晶体面积80 mm2，有效面积65mm2，高分子超薄窗设计； 重元素能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV（@计数率130,000cps）；保证符合ISO 15632:2012标准。轻元素能量分辨率：F Ka 保证优于64eV（@计数率130,000cps）；能量分辨率: C Ka 保证优于56eV（@计数率130,000cps）； 元素分析范围: Be4～Cf98； 可进行点、线、面分析，线扫描分析每条线可包含高达8192点，可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集。电子图像最高分辨率达8192×8192像素；元素面分布图分辨率最高达4096*4096像素；可在电子图像上叠加元素分布图；可从面分布图上进行点、线谱图重建； 具有完备的5KV和20KV两个无标定量数据库。
  • 主要参数电子束分辨率：0.6nm@15kV；0.7nm@1kV； 加速电压：最小着陆电压0.01kV；最大加速电压30kV，电子束流：1pA-20nA，且连续可变； 探测器：样品室二次电子探测器两个；镜筒内探测器：二次电子探测器，可兼顾反映形貌衬度、成分衬度；能量过滤器；独立的背散射电子检测器； 样品台行程：X、Y轴行程： 110 mm；Z轴行程：1.5-40 mm；T轴行程：-5°～+70°；R轴行程：可360度连续旋转； 样品台减速模式：减速场可调范围不小于-3.5kV。

仪器介绍

SEM扫描电子显微镜微观形貌分析；EDX能谱仪元素成份分析